光電変換装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山下穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-200711
公開番号（公開出願番号）：特開平9-051085
出願日： 1995年08月07日
公開日（公表日）： 1997年02月18日
要約：

【要約】【課題】ポリSi電極で形成されたフォトゲートを持つ光電変換装置の高感度化を課題とする。【解決手段】空乏層を形成するフォトゲート電極とその空乏層を光電変換領域とする画素を有する光電変換装置において、上記フォトゲート電極を上記画素の領域の一部にのみ形成したことを特徴とする。また、空乏層を形成するフォトゲート電極と、上記空乏層で発生した電荷を浮遊拡散層に転送する転送ゲートと、上記浮遊拡散層の電位変化をソースフォロワ動作で読み出すためのMOSアンプとを備えた光電変換装置において、上記フォトゲート電極を上記空乏層を含む画素領域の領域の一部にのみ形成したことを特徴とする。また、上記各画素上にマイクロレンズを形成し、そのマイクロレンズの集光領域には上記フォトゲート電極を形成しないことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

空乏層を形成するフォトゲート電極とその空乏層を光電変換領域とする画素を有する光電変換装置において、前記フォトゲート電極を前記画素の領域の一部にのみ形成したことを特徴とする光電変換装置。

IPC (3件)：

H01L 27/146 , H01L 27/14 , H01L 31/10

FI (4件)：

H01L 27/14 A , H01L 27/14 D , H01L 31/10 A , H01L 31/10 E

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平4-134862
特開昭61-264758
特開昭62-269354

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審査官引用 (10件)

特開平4-134862
特開昭61-264758
特開昭62-269354

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