特許

J-GLOBAL ID：200903030217844381

磁気記録媒体の製造方法

発明者： 平塚 亮一 ,  西田 康代 ,  山下 陽子
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-005726
公開番号（公開出願番号）：特開2000-207735
出願日： 1999年01月12日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】 非常に薄いカーボン保護膜を均一な密度で形成可能とする。【解決手段】 非磁性支持体上に少なくとも金属磁性薄膜及びカーボン保護膜を積層形成するに際し、ラマン分光法による観測を行い、1500cm-1近傍に出現するラマンスペクトルのピーク強度と1300cm-1近傍に出現するラマンスペクトルのピーク強度に基づいてカーボン保護膜の密度を制御する。構造的に異なるカーボンの全ての散乱ピークが認められる1000cm-1〜1800cm-1において、特定のピークのピーク強度とカーボン膜の密度とには良好な相関性が見られ、特に1500cm-1近傍に出現するラマンスペクトルのピーク強度と1300cm-1近傍に出現するラマンスペクトルのピーク強度に基づいてカーボン保護膜の成膜条件の制御を行うことにより、均一な密度を有するカーボン保護膜が形成される。

請求項（抜粋）：

非磁性支持体上に少なくとも金属磁性薄膜及びカーボン保護膜を積層形成する磁気記録媒体の製造方法において、ラマン分光法による観測を行い、1500cm-1近傍に出現するラマンスペクトルのピーク強度と1300cm-1近傍に出現するラマンスペクトルのピーク強度に基づいてカーボン保護膜の密度を制御することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

IPC (4件)：

G11B 5/84 ,  C23C 14/06 ,  C23C 16/24 ,  G11B 5/72

FI (4件)：

G11B 5/84 B ,  C23C 14/06 F ,  C23C 16/24 ,  G11B 5/72

Fターム (36件)：

4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BA06 ,  4K029BA09 ,  4K029BA12 ,  4K029BA24 ,  4K029BA25 ,  4K029BA26 ,  4K029BA34 ,  4K029BB02 ,  4K029BC06 ,  4K029EA00 ,  4K029EA03 ,  4K029EA06 ,  4K029EA09 ,  4K030BA05 ,  4K030BA07 ,  4K030BA14 ,  4K030BA27 ,  4K030CA07 ,  4K030CA12 ,  4K030FA01 ,  4K030JA09 ,  4K030JA12 ,  4K030JA17 ,  4K030JA20 ,  4K030KA39 ,  4K030LA05 ,  5D006AA02 ,  5D006AA05 ,  5D006EA03 ,  5D112AA07 ,  5D112AA22 ,  5D112BC05 ,  5D112FA10 ,  5D112JJ06