特許

J-GLOBAL ID：200903030218138774

可変インダクタンス素子

発明者： 川合 浩史
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-025932
公開番号（公開出願番号）：特開平8-204139
出願日： 1995年01月21日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：

【要約】【目的】 可変インダクタンス素子において、外部からの操作によってインダクタンスLを容易に調整でき、小型化によりモノリシック化も可能となる。【構成】 基板2上にコイル3と固定電極5,5を形成し、この固定電極5とコイル3と対向するように梁電極7を形成する。そして、梁電極7と固定電極5との間には直流電源Eを接続し、この電圧によって梁電極7とコイル3との離間距離を変化させる。この結果、コイル3からの磁界による磁束密度を高くし、インダクタンスLを増加させる。

請求項（抜粋）：

基板と、該基板上に形成されたコイルと、前記基板上に形成され、該コイルと離間した固定電極と、該固定電極と対向するように設けられ、該固定電極との間に直流電圧を印加することにより離間距離を変化させる梁電極とから構成してなる可変インダクタンス素子。

IPC (3件)：

H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  H01F 21/06