特許

J-GLOBAL ID：200903030218778455

レーザ発振器

発明者： 三柳 直毅 ,  多田 信彦 ,  下村 義昭 ,  桜井 茂行
出願人/特許権者： 日立建機株式会社
代理人 (1件)： 春日 讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-298819
公開番号（公開出願番号）：特開平6-152017
出願日： 1992年11月09日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：

【要約】【目的】レーザ発振器において、アパーチャ及びその他のレーザ発振器を構成する重要な光学部品を破損することなく、レーザ光のビーム径を絞って微細加工を行うことができるようにする。【構成】レーザロッド1、フラッシュランプ2、集光器3、エンドミラー4、アウトプットミラー5、及びアパーチャ20を備えたレーザ発振器において、アパーチャ20のレーザロッド1側を、レーザ光50の波長に対し高い反射率をもつミラー面20aとし、また、ミラー面20aを、レーザ光50の軸に対して法線が傾斜した円錐面とする。さらに、ミラー面20aで反射されたレーザ光51を吸収するアブソーバ30を設けてもよい。

請求項（抜粋）：

レーザ光を出力するロッド状の発振媒体と、前記発振媒体を励起する励起手段と、前記発振媒体の両端に対面して設けられた2枚の共振ミラーと、前記共振ミラーの少なくとも一方とこれに対面する前記発振媒体との間に挿入され前記発振媒体より出力されるレーザ光のビーム径を絞るアパーチャとを備え、前記発振媒体及び前記2枚の共振ミラーを基本として光学ユニットを構成するレーザ発振器において、前記アパーチャは、レーザ光の波長に対し高い反射率を有しかつ前記レーザ光の軸に対して法線が傾斜するミラー面を前記発振媒体側に備えることを特徴とするレーザ発振器。