特許

J-GLOBAL ID：200903030226370503

ダンパ装置、及び真空ポンプ

発明者： 並木 啓能
出願人/特許権者： ビーオーシーエドワーズテクノロジーズ株式会社
代理人 (1件)： 川井 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-097861
公開番号（公開出願番号）：特開2002-295372
出願日： 2001年03月30日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
要約：

【要約】【課題】 複数段重ねたダンパの振動減衰効果を低減せずにコンダクタンスを良くすること。【解決手段】 真空ポンプの吸気口と前記真空ポンプによって排気される真空装置の間に配置されるダンパ装置であって、前記ダンパ装置は、振動吸収機能と気密性とを備え、一端が前記真空ポンプの吸気口に取り付けられ、他端が前記真空装置の側に配置された第1のダンパと、振動吸収機能と気密性とを備え、一端が前記真空装置の側に配置され、他端を含む少なくとも一部が、前記第1のダンパの内側、又は周囲に配置された第2のダンパと、前記第1のダンパの前記他端及び前記第2のダンパの前記他端と連接された連接部材と、を具備することを特徴とするダンパ装置を提供する。

請求項（抜粋）：

真空ポンプの吸気口と前記真空ポンプによって排気される真空装置の間に配置されるダンパ装置であって、振動吸収機能と気密性とを備え、一端が前記真空ポンプの吸気口に取り付けられる第1のダンパと、振動吸収機能と気密性とを備え、一端が前記真空装置の側に配置され、他端を含む少なくとも一部が、前記第1のダンパの内側、又は周囲に配置された第2のダンパと、前記第1のダンパの他端及び前記第2のダンパの前記他端とを連接する気密性を備えた連接部材と、を具備することを特徴とするダンパ装置。

IPC (2件)：

F04B 39/16 ,  F16F 15/04

FI (2件)：

F04B 39/16 E ,  F16F 15/04 A

Fターム (9件)：

3H003AA06 ,  3H003AC01 ,  3H003AD03 ,  3H003BA05 ,  3H003CD07 ,  3J048AA02 ,  3J048BA05 ,  3J048BC04 ,  3J048EA08