特許

J-GLOBAL ID：200903030226592760

表面観察装置用プローブおよびその製造方法ならびに表面観察装置

発明者： 田中 伸司 ,  佐藤 一雄 ,  田勢 隆 ,  保坂 純男 ,  本多 幸雄 ,  大西 毅
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 中村 純之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-170012
公開番号（公開出願番号）：特開平5-018740
出願日： 1991年07月10日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：

【要約】【目的】製造コストを安価とし、原子間力や磁気力等の表面観察を高分解能、高感度で行なう。【構成】探針11をプレート12と一体で形成し、プレート12の探針11が突き出している側と反対側の面に保持板13をプレート12と一体に構成する。

請求項（抜粋）：

探針と、試料と上記探針との間に作用した力を変位に変換するプレートとを有する表面観察装置用プローブにおいて、上記探針を上記プレートと一体で形成し、上記プレートの上記探針が突き出している側と反対側の面に保持板を上記プレートと一体に構成したことを特徴とする表面観察装置用プローブ。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-096854
  
• 特開昭63-091502
  
• 特開平2-059601