特許
J-GLOBAL ID：200903030227845580
電子線装置、及び電子線装置用試料ホルダー
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-128688
公開番号（公開出願番号）：特開平6-044936
出願日： 1993年05月31日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：
【要約】【目的】本発明は電子線装置に係り、高温状態にある試料の像観察・分析を行うための好適な試料加熱ホルダーを提供することにある。【構成】電子線装置における試料ホルダー5内に、試料2を加熱するための加熱部材8,導線10,スイッチ11,可変抵抗12,電池13を組込む構成としたことを特徴とする。【効果】試料加熱のための外部配線がないので、外部振動の影響を防止し、高分解能を実現した。
請求項（抜粋）：
試料を支持し、当該試料を加熱する加熱部材を有する試料ホルダーを備え、上記試料に電子線を照射して、当該試料の像を観察する電子線装置において、上記加熱部材を発熱せしめる加熱用電源、及び当該加熱用電源からの電力を上記加熱部材へ導く導線を、上記試料ホルダーに組込んだことを特徴とする電子線装置。
引用特許：
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