特許

J-GLOBAL ID：200903030229845928

金属試料表面の欠陥検査方法及び装置

発明者： 西田 真史 ,  添田 正彦 ,  林 謙太
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-336042
公開番号（公開出願番号）：特開2000-163582
出願日： 1998年11月26日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】 収縮処理による孤立点除去を行う場合でも、画像上にリング状領域として現われる穴状欠陥を確実に検査できるようにする。【解決手段】 金属試料表面を3つの異なる仰角から照明して撮影し、得られた各仰角の画像データにそれぞれR、G、Bを割当てた3つの画像データからRGBカラー画像を合成し、該合成画像に基づいて欠陥の検査を行う際、前記合成画像(a)に対して、該画像上に存在する孤立点Pを除去する収縮処理を施す前に、同画像上に存在するリング領域からなる欠陥部Dの内側が埋まる画素数の膨張処理を行って(b)とし、その後、膨張画素数と孤立点除去に必要な画素数の和の画素数分だけ前記収縮処理を施して(C)にして欠陥部Dを残す。

請求項（抜粋）：

金属試料表面を3つの異なる仰角から照明して撮影し、得られた各仰角の画像データにそれぞれR、G、Bを割当てた3つの画像データからRGBカラー画像を合成し、該合成画像に基づいて欠陥の検査を行う金属試料表面の欠陥検査方法であって、前記合成画像に対して、該画像上に存在する孤立点を除去する収縮処理を施す前に、同画像上に存在するリング領域の内側が埋まる画素数の膨張処理を行い、その後、膨張画素数と孤立点除去に必要な画素数の和の画素数分だけ前記収縮処理を施すことを特徴とする金属試料表面の欠陥検査方法。

IPC (3件)：

G06T 7/00 ,  G01N 21/88 ,  G01N 21/89

FI (3件)：

G06F 15/62 405 A ,  G01N 21/88 J ,  G01N 21/89 610 B

Fターム (23件)：

2G051AA37 ,  2G051AA62 ,  2G051AB07 ,  2G051BA01 ,  2G051BA08 ,  2G051BC06 ,  2G051CA04 ,  2G051ED03 ,  2G051ED14 ,  5B057CA01 ,  5B057CA02 ,  5B057CE02 ,  5B057CE05 ,  5B057CE08 ,  5B057CE18 ,  5B057CF01 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB05 ,  5B057DB06 ,  5B057DB09 ,  5B057DC14 ,  5B057DC25