特許
J-GLOBAL ID：200903030233048552
ウエーハ移載方式
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 清孝 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-321408
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151563
出願日： 1992年11月06日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【目的】 真空吸着によってウエーハを吸着するウエーハ移載装置のウエーハ移載方式において、ウエーハの吸着に失敗した場合のリトライ操作でのウエーハ吸着の成功率を向上させ、リトライオーバー(リトライ3回失敗)のエラーによる装置停止の回数を低減させ、装置の稼動率を向上させることができるウエーハ移載方式を提供する。【構成】 特定の上昇幅で石英ツィーザ6を上昇させてウエーハ12の吸着を試みる動作を行い、この動作でウエーハ12を吸着できなかった場合に、上昇幅を補正して、特定の上昇幅とは異なる上昇幅で石英ツィーザ6を上昇させてウエーハ12の吸着を試みるリトライ動作を行うウエーハ移載方式としている。
請求項（抜粋）：
石英ツィーザでウエーハを真空吸着してウエーハの移載動作を行うウエーハ移載装置のウエーハ移載方式において、特定の幅で前記石英ツィーザを上昇させてウエーハの吸着を試みる動作と、前記動作で前記ウエーハを吸着できなかった場合に、前記特定の幅だけ前記石英ツィーザを下降させ、前記特定の幅とは異なる幅で前記石英ツィーザを上昇させて前記ウエーハの吸着を試みる動作を行うことを特徴とするウエーハ移載方式。
IPC (2件)：
引用特許：
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