非製品ウェハ管理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-131091
公開番号（公開出願番号）：特開平10-321486
出願日： 1997年05月21日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：

【要約】【課題】チェックミス、選択ミス、処理ミス等をなくし再生処理装置における汚染等の事故を防止すると共に、非製品ウェハの使用料を少なくする。【解決手段】マスター情報のうちの再生手順の情報を登録すると共に各部の制御処理を行うホストコンピュータ1を設ける。マスター情報のうちの再生限度回数及び使用期間限度の情報を登録するマスター情報登録端末6を設ける。マスター情報及び個別情報の保持並びにウェハIDの個別情報とマスター情報との比較及び各種判定を行うサーバ2を設ける。ウェハIDのマーキングを行うレーザーマーカ3を設ける。ウェハIDの読取り、再生処理及び個別情報の更新処理、並びにリジェクト処理を行う制御端末4及び文字認識装置5を設ける。ウェハIDマーキングから再生,廃棄処理までを自動化する。

請求項（抜粋）：

製品ウェハと共に製造工程に流して所定の処理を施し前記製造工程の状態を含む各種情報を収集するための非製品ウェハの製造工程での処理、再生処理及び廃棄処理を含む各種処理の管理を行う非製品ウェハ管理装置であって、前記非製品ウェハそれぞれにこれら非製品ウェハの種類及び個々の識別の情報を含むウェハIDをマーキングするIDマーキング手段と、前記ウェハIDそれぞれと対応してそのウェハIDの非製品ウェハの再生回数及び使用期間の情報を含む個別情報を保持する個別情報保持手段と、前記非製品ウェハの種類毎の再生限度回数,使用期間限度及び再生手順の情報を含むマスター情報を登録,保持するマスター情報登録・保持手段と、前記非製品ウェハのウェハIDを読取るID読取り手段と、このID読取り手段で読取られたウェハIDの個別情報と前記マスタ情報とを比較し異種混入,再生処理及び廃棄処理を含む各種判定を行う比較・判断手段と、この比較・判定手段による判定結果が再生処理のときはこのウェハIDと対応する前記再生手順を発行すると共に前記再生回数を含む個別情報を更新する再生処理手段と、前記判定結果が廃棄処理のときはこのウェハIDの非製品ウェハを自動廃棄処理すると共にこのウェハIDの個別情報をリジェクトするリジェクト処理手段とを有することを特徴とする非製品ウェハ管理装置。

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