特許

J-GLOBAL ID：200903030252322460

平坦化方法及び平坦化装置

発明者： 味沢 治彦
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 高月 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-153337
公開番号（公開出願番号）：特開平9-011117
出願日： 1995年06月20日
公開日（公表日）： 1997年01月14日
要約：

【要約】【目的】 常に研磨布の形状を安定化することで、ウエハー等の被研磨材に対する研磨速度の均一性向上、安定化並びに制御性の向上を図った平坦化方法及び平坦化装置を提供する。【構成】 被研磨材1を研磨布15を用いて研磨して平坦化を行う際、研磨布15は研磨プレート14に支持して被研磨材1に対して相対的に駆動(回転等)するとともに、該研磨布15は研磨布ドレッサー20を用いてドレスし、該研磨布ドレッサー20は研磨プレート14の半径方向に設置する。

請求項（抜粋）：

被研磨材を研磨布を用いて研磨して平坦化を行う平坦化方法において、研磨布は研磨プレートに支持して被研磨材に対して相対的に駆動するとともに、該研磨布は研磨布ドレッサーを用いてドレスする構成とし、該研磨布ドレッサーは研磨プレートの半径方向に設置することを特徴とする平坦化方法。

IPC (3件)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304

FI (3件)：

B24B 37/00 A ,  H01L 21/304 321 M ,  H01L 21/304 321 E