特許

J-GLOBAL ID：200903030254819249

石英ガラス製容器およびその製造方法

発明者： 江崎 正信
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 波多野 久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-278812
公開番号（公開出願番号）：特開2001-097734
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2001年04月10日
要約：

【要約】【課題】使用中に金属不純物が溶け出さないもしくは高温環境下で金属不純物が拡散しない石英ガラス製容器およびその製造方法を提供する。【解決手段】任意の厚さ:tを有する石英ガラス容器であって、表面から20μmの厚さ領域および1/2tの±10μmの厚さ領域いずれにおいても、Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Fe、Ni、CuおよびZn濃度がいずれも0.1ppb未満であることを特徴とする石英ガラス製容器。また、合成石英ガラスブロックから加熱処理することなく、機械研削のみにより、容器形状を形成する石英ガラス製容器の製造方法。

請求項（抜粋）：

任意の厚さ:tを有する石英ガラス容器であって、表面から20μmの厚さ領域および1/2tの±10μmの厚さ領域いずれにおいても、Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Fe、Ni、CuおよびZn濃度がいずれも0.1ppb未満であることを特徴とする石英ガラス製容器。

IPC (6件)：

C03C 3/06 ,  C03B 8/04 ,  C03B 20/00 ,  H01L 21/304 648 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

C03C 3/06 ,  C03B 8/04 A ,  C03B 20/00 F ,  H01L 21/304 648 D ,  H01L 21/68 N ,  H01L 21/306 J

Fターム (16件)：

4G014AH23 ,  4G062AA18 ,  4G062BB02 ,  4G062CC07 ,  4G062MM17 ,  4G062MM21 ,  4G062NN40 ,  5F031CA02 ,  5F031HA62 ,  5F031HA63 ,  5F031PA26 ,  5F043DD27 ,  5F043DD30 ,  5F043EE16 ,  5F043EE40 ,  5F043GG10

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-034419
  
• 遠紫外線用高純度シリカガラス及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-078141   出願人：信越石英株式会社
• 特開平3-034419