特許

J-GLOBAL ID：200903030262698132

静電チャック装置

発明者： マイケル・スコット・バーンズ ,  ジョン・ハワード・ケラー ,  ジョセフ・スキナー・ローガン ,  ロバート・イーライ・トムキン ,  ロバート・ピーター・ウェストフィールド、ジュニア
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 合田 潔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-231490
公開番号（公開出願番号）：特開平7-201959
出願日： 1994年09月27日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：

【要約】【目的】 ワークピースと電極との間の静電引力によりワークピースを支持する静電チャック装置を提供する。【構成】 ウェーハ上のプラズマによって誘導された自己バイアス電位に近くにおいて浮動する導電性の保護環を介在させ、ウェーハと、それに最も近い電極との間の電圧を容量分割する。そうすることにより、静電チャックが、プロセス中のウェーハの背面と静電チャック本体との間に真空アークが形成されるのを抑制する。

請求項（抜粋）：

真空環境でDC電位の静電引力により、ワークピース半径を有するワークピースを保持する静電チャック装置であって、ハード・コートのアルミナでコーティングした少なくとも2つの円転対称な同心円のアルミニウム電極を有し、該電極が合わさって1つの平坦なクランプ平面を形成し、上記アルミニウム電極の少なくとも1つがその中にガス供給手段を備えており、さらに該装置において、上記の少なくとも2つの電極の外側の電極が上記ワークピース半径よりも保護環のはばだけ小さい外側半径の電極を有し、上記外側電極が、上記ワークピースより張り出し部分だけ小さい外側半径を有する導電性保護環で囲まれ、上記保護環は、その頂面が上記クランプ平面と実質的に同一平面にあり、上記外側電極から絶縁層分離され、且つ上記外側電極および上記ワークピースに容量結合しており、それにより、上記保護環は、上記ワークピースの電位に実質的に等しい等電位領域を上記ワークピースと上記外側電極との間に確立することにより、上記ワークピースおよび上記外側電極の間の真空アークを抑制するようにしたことを特徴とする静電チャック装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15