特許

J-GLOBAL ID：200903030280806120

Z移動ステージ機構

発明者： 沼賀 拓興
出願人/特許権者： 東芝機械株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-241592
公開番号（公開出願番号）：特開平9-086888
出願日： 1995年09月20日
公開日（公表日）： 1997年03月31日
要約：

【要約】【課題】Z移動ステージを、くさび機構を介して上下移動させると共に、前記Z移動ステージをばね部材で支承して前記くさび機構に作用する負荷荷重を軽減するようにしたZ移動ステージ機構において、Z移動ステージの高さ変動により前記ばね部材のばね力が変化して、数mmの変化に対応する負荷変動となり、負荷荷重の軽減機能が損なわれるばかりでなく、Z移動ステージが変形する虞れがある。【解決手段】くさび機構15を介して上下移動させるZ移動ステージ2を支承するばね部材としての圧縮コイルばね35を、前記くさび機構15とくさびの傾斜方向を同一とした第2のくさび機構36で支承し、前記Z移動ステージ2の高さ変動H1 、H2 にかかわらず圧縮コイルばね35の全長hを一定としばね力を一定に保つようにしたものである。

請求項（抜粋）：

Z移動ステージを、くさび機構を介して上下移動させると共に、前記Z移動ステージをばね部材で支承して前記くさび機構に作用する負荷荷重を軽減するようにしたZ移動ステージ機構において、前記ばね部材を、前記くさび機構とくさびの傾斜方向を同一とした第2のくさび機構で支承し、前記Z移動ステージの高さ変動にかかわらず前記ばね部材のばね力を一定に保つようにしたことを特徴とするZ移動ステージ機構。

IPC (3件)：

B66F 1/00 ,  B23Q 1/25 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

B66F 1/00 ,  H01L 21/68 K ,  B23Q 1/18 Z