特許

J-GLOBAL ID：200903030281879385

高強度を有しかつスパッタ割れのない光記録媒体保護膜形成用スパッタリングターゲット

発明者： 小田 淳一 ,  姜 仁鎬
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 富田 和夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-252196
公開番号（公開出願番号）：特開2002-074760
出願日： 2000年08月23日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
要約：

【要約】【課題】 高強度を有し、高出力スパッタリングを行っても割れ発生がない光記録媒体保護膜形成用スパッタリングターゲットを提供する。【解決手段】 炭化ケイ素:5〜40mol%を含有し、残りが硫化亜鉛からなる組成を有し、相対密度が95%以上有する焼結体からなるスパッタリングターゲット。

請求項（抜粋）：

炭化ケイ素:5〜40mol%を含有し、残りが硫化亜鉛からなる組成を有する焼結体からなることを特徴とする高強度を有しかつスパッタ割れのない光記録媒体保護膜形成用スパッタリングターゲット。

IPC (4件)：

G11B 7/26 ,  C04B 35/547 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/34

FI (5件)：

G11B 7/26 ,  C23C 14/06 D ,  C23C 14/06 B ,  C23C 14/34 A ,  C04B 35/00 T

Fターム (14件)：

4G030AA47 ,  4G030AA56 ,  4G030BA14 ,  4G030BA20 ,  4K029BA51 ,  4K029BA56 ,  4K029BC07 ,  4K029BD12 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  5D121AA04 ,  5D121EE03 ,  5D121EE13 ,  5D121EE18