特許
J-GLOBAL ID：200903030282675333
液体原料気化器用カートリッジヒータ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-130666
公開番号（公開出願番号）：特開平11-319537
出願日： 1998年05月13日
公開日（公表日）： 1999年11月24日
要約：
【要約】【課題】 液体原料気化器用カートリッジヒータのシース管の最外周表面の温度を精度良く測定できるように構成した液体原料気化器用カートリッジヒータを提供すること。【解決手段】 シース管12内にヒータ13を配置し、液体原料を気化させる液体原料気化器の中心部に挿入され、シース管12を加熱して該シース管12の外周部に形成された液体原料流路内を流れる液体原料を気化する液体原料気化器用カートリッジヒータにおいて、シース管12の内壁面長手方向に終端がヒータ13が配置されている部分に達する溝12aを設け、該溝12aにシース管の温度を測定する熱電対14を装着した。
請求項（抜粋）：
シース管内にヒータを配置し、液体原料を気化させる液体原料気化器の中心部に挿入され、前記シース管の内壁面長手方向に終端が前記ヒータが配置されている部分に達する溝を設け、該溝に該シース管の温度を測定する熱電対を装着し、該シース管を加熱して該シース管の外周部に形成された液体原料流路内を流れる液体原料を気化することを特徴とする液体原料気化器用カートリッジヒータ。
IPC (3件)：
B01J 7/02
, C23C 16/44
, H01L 21/31
B01J 7/02 Z
, C23C 16/44 C
, H01L 21/31 B
