特許
J-GLOBAL ID：200903030288540294
膜型キャパシターおよびそのトリミング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-181283
公開番号（公開出願番号）：特開平7-038060
出願日： 1993年07月22日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：
【要約】【目的】 高周波整合回路用などに適し、かつレーザ光による高速トリミングも可能な膜型キャパシター、および膜型キャパシターのトリミング方法の提供。【構成】 誘電体層6を介して一体的に配設された対向電極層5,7を具備して成る膜型キャパシターにおいて、前記電極層5,7の少なくとも一部の対向領域が細分化5a,7aされ、かつ細分化された電極層5a,7a同士の接続導体5b,7bを対向面間で非対称的に配置したことを特徴とし、また前記構成の膜型キャパシターの細分化された電極層5a,7a同士の接続導体5b,7bを選択的にレーザ光を照射して電気的に切り離し、キャパシターをトリミングすることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
誘電体層を介して一体的に配設された対向電極層を具備して成る膜型キャパシターにおいて、前記電極層の少なくとも一部の対向領域が細分化され、かつ細分化された電極層同士の接続導体を対向面間で非対称的に配置して成ることを特徴とする膜型キャパシター。
IPC (4件)：
H01L 27/04
, H01L 21/822
, H01G 4/255
, H01L 27/01 321
