特許
J-GLOBAL ID：200903030293609383
2次元マトリクス型空間光変調素子を用いた多階調露光方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-042068
公開番号（公開出願番号）：特開平10-239665
出願日： 1997年02月26日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：
【要約】【課題】 駆動信号に応じて光出射、非出射の状態を択一的に取る画素部が行、列を構成して2次元マトリクス状に配置されてなる空間光変調素子を用いた多階調露光方法において、高速での多階調露光を実現する。【解決手段】 空間光変調素子として、新たな駆動信号が入力されるまで光出射または非出射の状態を維持する画素部を有するものを用い、この空間光変調素子の全ての行を、相異なる複数の時間間隔毎に選択走査し、選択された行における各画素部に、画像データに基づいた駆動信号を入力し、上記相異なる複数の時間間隔毎になされる選択走査を時間的に多重化し、この多重化走査を受けた相異なる複数の行から、時分割によって1つの選択行を決定する。
請求項（抜粋）：
駆動信号に応じて光出射、非出射の状態を択一的に取る画素部が行、列を構成して2次元マトリクス状に配置されてなる空間光変調素子を露光光の光路に配し、この空間光変調素子により、その画素部毎に照射時間を制御した露光光を感光材料に照射して該感光材料を多階調露光させる、2次元マトリクス型空間光変調素子を用いた多階調露光方法において、前記空間光変調素子として、新たな駆動信号が入力されるまで前記光出射または非出射の状態を維持する画素部を有するものを用い、この空間光変調素子の全ての行を、相異なる複数の時間間隔毎に選択走査し、選択された行における各画素部に、画像データに基づいた駆動信号を入力し、前記相異なる複数の時間間隔毎になされる選択走査を時間的に多重化し、この多重化走査を受けた相異なる複数の行から、時分割によって1つの選択行を決定することを特徴とする2次元マトリクス型空間光変調素子を用いた多階調露光方法。
IPC (4件)：
G02F 1/133 575
, G02B 26/08
, G03B 27/72
, G09G 3/20
G02F 1/133 575
, G02B 26/08 E
, G03B 27/72 Z
, G09G 3/20 K
