走査型コンフォーカル顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷照一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-068605
公開番号（公開出願番号）：特開平7-270307
出願日： 1993年03月26日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】サンプルを紫外線で励起して発生した蛍光の検出に適したレーザー走査型コンフォーカル顕微鏡の提供。【構成】この顕微鏡では、紫外線照射ビーム(LB)を用いてパターンに従いサンプル(16)を走査し、蛍光及び可視光線が発生する。その一部が照射ビームの光学経路をたどってダイクロイックミラー(8)に戻り、そこで照射ビームと分離されてフォトマルチプライヤー(22、26)で検出される。フォトマルチプライヤー(22、26)の出力をクロッキングするクロック信号は、参照ビーム系によって提供される。参照ビーム系では、参照ビーム(RB)を照射ビームと同じ走査ミラー(9)上の同一点に導き、グレーティング(44)を通過させ、生じたパルス状の参照ビーム(RB)が参照ビームの即時の走査速度、即ち走査中の照射ビームの即時の走査速度を正確に表すクロック信号を発生させるために第2のフォトマルチプライヤー(46)に入る。

請求項（抜粋）：

以下の構成要素(A〜D)、即ち:(A)所定の波長を持つコリメートされた照射ビーム(a collimated incident beam)を発生するレーザー光源;(B)以下の構成要素(B-1及びB-2)、即ち、(B-1)第1のダイクロイックミラー(a dichroic mirror)、及び、(B-2)この第1のダイクロイックミラーとサンプルとの間に設けられ、前記サンプルを往復して横切るように前記照射ビームを走査させるために第1の回転軸を中心に回転する第1の走査ミラーであって、この時前記サンプルが蛍光及び前記照射ビームの波長とは異なる波長の第1の所定の波長を有する発光線を発生し、そしてこの発生した発光線の一部が前記照射ビームの経路をたどって前記第1のダイクロイックミラーに戻る蛍光ビームを形成するように構成されている第1の走査ミラー、を備えた光学経路手段であって、前記第1のダイクロイックミラーは照射ビームと蛍光ビームとを分離することを特徴とする光学経路手段;(C)前記蛍光ビームの光強度を検出するため、及び対応する蛍光走査信号を発生するための蛍光ビーム検波器; そして、(D)以下の構成要素(D-1〜D-3)、即ち、(D-1)前記第1の走査ミラーに向かう方向に参照ビームを導く手段であって、前記第1の走査ミラー上において前記照射ビームと同一のポイントに入射し、走査している参照ビームを生成することを特徴とする参照ビームを導く手段、(D-2)透明領域と不透明領域とを一連に交互にもうけたグレーティング(a grating: 格子)であって、走査している参照ビームを入射するように配設されており、走査速度を表すパルス状の参照ビームを生成することを特徴とするグレーティング、そして、(D-3)前記パルス状の参照ビームの強度を検出するため、及び前記走査している参照ビームの走査速度を表わし、それにより照射ビームの走査速度を表すように対応したクロック信号を発生させるための参照ビーム検波器、を備えた参照ビーム手段であって、前記参照ビーム検波器によって発生する前記クロック信号が、前記蛍光ビーム検波器によって発生する前記蛍光走査信号をサンプリングするために用いられうる参照ビーム手段;を備えていることを特徴とするサンプルの走査を行うコンフォーカル顕微鏡。

IPC (5件)：

G01N 21/27 , G01N 21/01 , G01N 21/64 , G02B 21/00 , G02B 26/10 101

引用特許：

審査官引用 (3件)

特表平5-501458
特開平2-226051
特開平3-072238

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