チャックテーブルの検査方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：小野尚純 , 奥貫佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-056666
公開番号（公開出願番号）：特開2007-229889
出願日： 2006年03月02日
公開日（公表日）： 2007年09月13日
要約：

【課題】チャックテーブルの吸引保持性能を適切に検査することがチャックテーブルの検査方法を提供する。【解決手段】上面に保持領域を備えるとともに保持領域に連通する吸引通路52を備えたチャックテーブル本体2と、保持領域に配設された通気性を有する吸引保持部材3とからなるチャックテーブル2の検査方法であって、チャックテーブル2の吸引通路52を吸引手段51に連通して保持領域に吸引力を生成せしめる吸引力生成工程と、吸引通路52を流通する空気の流量と吸引通路の圧力を測定し、吸引通路圧力を空気流量で除算して流通抵抗値を求める流量抵抗算出工程と、流通抵抗算出工程によって算出された流通抵抗値が所定の許容範囲ならばチャックテーブル2は良品と判定し、流通抵抗値が所定の許容範囲外の場合にはチャックテーブル2は不良品と判定する判定工程とを含む。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

上面に保持領域を備えるとともに該保持領域に連通する吸引通路を備えたチャックテーブル本体と、該保持領域に配設された通気性を有する吸引保持部材とからなるチャックテーブルの検査方法であって、チャックテーブルの該吸引通路を吸引手段に連通して該保持領域に吸引力を生成せしめる吸引力生成工程と、該吸引力生成工程を実施している際に、該吸引通路を流通する空気の流量と該吸引通路の圧力を測定し、該吸引通路圧力を該空気流量で除算(吸引通路圧力÷空気流量)して流通抵抗値を求める流量抵抗算出工程と、該流通抵抗算出工程によって算出された該流通抵抗値が所定の許容範囲ならばチャックテーブルは良品と判定し、該流通抵抗値が所定の許容範囲外の場合にはチャックテーブルは不良品と判定する判定工程と、を含む、ことを特徴とするチャックテーブルの検査方法。

IPC (3件)：

B24B 41/06 , H01L 21/304 , B23Q 3/08

FI (3件)：

B24B41/06 Z , H01L21/304 622H , B23Q3/08 A

Fターム (7件)：

3C016DA01 , 3C034AA20 , 3C034BB73 , 3C034BB94 , 3C034CA13 , 3C034DD10 , 3C034DD18

引用特許：

出願人引用 (3件)

軟弱部材自動貼付け装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-225670 出願人：株式会社リコー
半導体露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-058872 出願人：キヤノン株式会社
特開昭59-122922

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