特許

J-GLOBAL ID：200903030309049081

ケミカルメカニカルポリッシング廃水処理方法

発明者： 古藤 厳 ,  福田 博久
出願人/特許権者： 旭化成工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-280248
公開番号（公開出願番号）：特開平9-117763
出願日： 1995年10月27日
公開日（公表日）： 1997年05月06日
要約：

【要約】【課題】 高分子多孔質膜の劣化が少なく、濾過水が再利用できるケミカルメカニカルポリッシング廃水の処理方法を提供する。【解決手段】 過酸化水素を含むケミカルメカニカルポリッシング廃水を高分子多孔質膜濾過装置を用いて処理するに際し、該廃水中の過酸化水素を、過酸化水素分解酵素等により前処理装置であらかじめ分解し、該濾過装置に供給する。【効果】 過酸化水素による高分子多孔質膜の劣化が少なく、膜の寿命が長くなる。

請求項（抜粋）：

ケミカルメカニカルポリッシング廃水を高分子多孔質膜濾過装置を用いて処理するに際し、該廃水中の過酸化水素を前処理装置であらかじめ分解し、該濾過装置に供給することを特徴とするケミカルメカニカルポリッシング廃水処理方法。

IPC (4件)：

C02F 1/44 ZAB ,  B01D 61/14 500 ,  B01D 61/16 ,  C02F 1/58

FI (4件)：

C02F 1/44 ZAB E ,  B01D 61/14 500 ,  B01D 61/16 ,  C02F 1/58 H