極細線パターンを有するプリント配線板製造方法。

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：永井隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-038154
公開番号（公開出願番号）：特開2003-243810
出願日： 2002年02月15日
公開日（公表日）： 2003年08月29日
要約：

【要約】【課題】極細線で、銅箔接着力に優れ、形状の良好なパターンが形成された高密度プリント配線板を得る。【解決手段】銅箔として電解銅箔のマット面の凹凸の表面にニッケル金属、コバルト金属、或いはこれらの合金層を0.1〜5μm付着させた銅箔を使用し、これを少なくとも最外層に付着させた後、この表層の電解銅箔部分を選択的にエッチング除去し、残ったニッケル金属、コバルト金属、或いはこれらの合金層の上に薄い無電解銅メッキ及び電気銅メッキを施してからパターンメッキレジストを付着してパターン電気銅メッキを行い、メッキレジストを除去後に薄い電気銅層及び無電解銅層を選択的に溶解除去してから、その後にニッケル金属、コバルト金属、或いはこれらの合金層を選択的にエッチング除去して高密度プリント配線板を作製する。【効果】極細線パターンのアンダーカットも極めて少なく、銅箔接着力の優れた高密度プリント配線板を得ることができた。

請求項（抜粋）：

(1)ニッケル及び/又はコバルト、或いはその合金を銅箔の片面に凹凸を形成した表面に厚さ0.1〜5μm付着させた電解銅箔を少なくとも最外層に用いて作製した両面銅張板又は多層両面銅張板の表層の銅層をエッチング除去してニッケル及び/又はコバルト、或いはその合金層を残し、(2)孔内を含む表面に0.1〜1μmの無電解銅メッキを施し、(3)該無電解銅メッキ析出層を電極にして厚さ0.5〜3μmの電気銅メッキ層を形成し、(4)この銅メッキ析出層の上の必要部分にパターン電気メッキ用のメッキレジスト層を形成し、(5)メッキレジスト層が形成されていない銅面に、電気銅メッキでパターン銅メッキを6〜30μm付着させ、(6)メッキレジストを剥離除去し、(7)少なくともパターン銅メッキ層の形成されていない部分の薄い電気銅層及び無電解銅層をニッケル又はコバルト、或いはその合金層を殆ど溶解しない薬液で全面をエッチングしてニッケル又はコバルト、或いはその合金層を残した後、(8)銅を殆ど溶解しない薬液で全体をエッチングしてニッケル又はコバルト、或いはその合金層を溶解除去して製造することを特徴とする極細線パターンを有するプリント配線板の製造方法。

IPC (8件)：

H05K 3/24 , C23F 1/44 , C25D 5/02 , C25D 7/00 , H05K 1/09 , H05K 3/06 , H05K 3/18 , H05K 3/46

FI (9件)：

H05K 3/24 Z , C23F 1/44 , C25D 5/02 B , C25D 7/00 J , H05K 1/09 C , H05K 3/06 A , H05K 3/18 G , H05K 3/18 J , H05K 3/46 S

Fターム (74件)：

4E351AA03 , 4E351BB01 , 4E351BB33 , 4E351BB35 , 4E351CC06 , 4E351CC07 , 4E351DD04 , 4E351DD19 , 4E351DD21 , 4E351GG11 , 4E351GG13 , 4K024AA09 , 4K024AB01 , 4K024BA01 , 4K024BB11 , 4K024BC02 , 4K024DA07 , 4K024FA05 , 4K024GA16 , 4K057WA11 , 4K057WB03 , 4K057WC10 , 4K057WE03 , 4K057WE07 , 4K057WE25 , 4K057WN01 , 5E339AB02 , 5E339AD03 , 5E339AD05 , 5E339BC01 , 5E339BD06 , 5E339BD08 , 5E339BE11 , 5E339BE13 , 5E339GG02 , 5E343AA02 , 5E343AA12 , 5E343BB12 , 5E343BB14 , 5E343BB17 , 5E343BB24 , 5E343BB44 , 5E343BB45 , 5E343BB52 , 5E343BB67 , 5E343BB71 , 5E343DD33 , 5E343DD43 , 5E343DD76 , 5E343GG06 , 5E343GG08 , 5E346AA06 , 5E346AA12 , 5E346AA15 , 5E346AA22 , 5E346AA32 , 5E346AA51 , 5E346BB15 , 5E346CC08 , 5E346CC32 , 5E346CC37 , 5E346DD02 , 5E346DD12 , 5E346DD25 , 5E346DD32 , 5E346DD33 , 5E346EE13 , 5E346GG17 , 5E346GG22 , 5E346GG28 , 5E346HH11 , 5E346HH13 , 5E346HH26 , 5E346HH31

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