特許

J-GLOBAL ID：200903030311184883

固体撮像素子及びその製造方法

発明者： 名取 太知
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-241493
公開番号（公開出願番号）：特開2004-079932
出願日： 2002年08月22日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：

【課題】レンズ層間の境界面での反射成分を増大させるような大きな屈折を行わせる必要がなく、なおかつ、微細な画素サイズであっても光電変換素子の受光面への集光効率を高めることのできる固体撮像素子及びその製造方法を提供すること。【解決手段】基板2に形成された光電変換素子3と、この光電変換素子3に対応して配置されたオンチップレンズ15との間に、屈折率の異なる複数のレンズ層7〜11が積層されてなる層内レンズ12が設けられており、更に、光電変換素子3に対向する位置では、隣接するレンズ層7〜11間の境界面は全て、光電変換素子3の受光面3aに向かって曲面状にくぼんでいる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板に形成された光電変換素子と、前記光電変換素子に対応して配置されたオンチップレンズとの間に、屈折率の異なる複数のレンズ層が積層されてなる層内レンズが設けられた固体撮像素子において、 前記光電変換素子に対向する位置では、隣接する前記レンズ層間の境界面は全て、前記光電変換素子の受光面に向かって曲面状にくぼんでいる ことを特徴とする固体撮像素子。

IPC (4件)：

H01L27/14 ,  G02B3/00 ,  H01L31/0232 ,  H04N5/335

FI (5件)：

H01L27/14 D ,  G02B3/00 A ,  G02B3/00 B ,  H04N5/335 U ,  H01L31/02 D

Fターム (30件)：

4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118CA03 ,  4M118CB13 ,  4M118EA01 ,  4M118GB03 ,  4M118GB11 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024EX42 ,  5C024EX43 ,  5C024GX02 ,  5C024GY01 ,  5F088AA01 ,  5F088BA01 ,  5F088BB03 ,  5F088CB03 ,  5F088CB11 ,  5F088EA04 ,  5F088EA08 ,  5F088FA01 ,  5F088GA04 ,  5F088HA10 ,  5F088HA20 ,  5F088LA03