特許
J-GLOBAL ID：200903030317356570
加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-036994
公開番号（公開出願番号）：特開平7-244069
出願日： 1994年03月08日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：
【要約】【目的】 圧電体を用いた加速度センサにおいて、焦電効果による誤差を防止するとともに測定感度を高くする。【構成】 板状弾性体11及び12との間には圧電セラミックス板13が挟持されている。弾性体の一端は剛体14に固定され、他端は自由端とされる。圧電セラミックス板は弾性体の長手方向に平行な分極軸を有し、この分極軸と平行に電極が形成されている。そして、弾性体の自由端側には荷重15が配設されている。このような構成では加速度に応じて弾性体にたわみが生じ、このたわみで圧電セラミックス板にせん断応力が作用する。このようにして、せん断応力に応じて電極間に電圧を発生させることによって測定感度を良好にでき、しかも電極が分極軸と平行に形成されているから、つまり、分極軸と直交する方向に位置する面に電極が形成されているから、焦電効果による誤差を防止できる。
請求項（抜粋）：
物体に加わる加速度を電圧に変換して計測する加速度センサにおいて、予め定められた方向に分極軸を有するとともに前記分極軸と平行な位置関係にある電極を備える圧電体と、該圧電体を支持するとともに前記加速度に応じて生じるたわみによって前記圧電体にせん断応力を作用させる支持部材とを有し、前記せん断応力に応じて電極間に電圧を生じさせるようにしたことを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件)：
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