特許

J-GLOBAL ID：200903030321641824

酸化処理装置

発明者： 本間 謙治
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン東北株式会社
代理人 (1件)： 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-317407
公開番号（公開出願番号）：特開平7-147276
出願日： 1993年11月24日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：

【要約】【目的】 燃焼装置を用いずに減圧下でのウエット酸化処理を可能にした酸化処理装置を提供することにある。【構成】 被処理体Wを高温下で酸化処理する処理炉1と、この処理炉1を減圧する減圧手段13と、純水を沸騰させて水蒸気を発生させる沸騰式水蒸気発生部23と、この沸騰式水蒸気発生部23より発生する水蒸気を前記処理炉1に供給する水蒸気供給管路24とを備えている。従って、燃焼装置を用いずに水蒸気を減圧下の処理炉1へ安定して供給することが可能となり、減圧下でのウエット酸化処理が可能となる。

請求項（抜粋）：

被処理体を高温下で酸化処理する処理炉と、この処理炉を減圧する減圧手段と、純水を沸騰させて水蒸気を発生させる沸騰式水蒸気発生部と、この沸騰式水蒸気発生部より発生する水蒸気を前記処理炉に供給する水蒸気供給管路とを備えたことを特徴とする酸化処理装置。

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開昭52-058471
  
• 特開昭63-019569
  
• 特許第5224202号
  
• 特開平4-123426
  

審査官引用 (1件)

• 特開昭52-058471