特許

J-GLOBAL ID：200903030324508521

液晶表示体用基板の検査装置

発明者： 元田 和郎 ,  窪田 民雄
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  テル・エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-109042
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285910
出願日： 1995年04月10日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【目的】 検査装置が大型化しても、プローバ部での検査状況及びローダ部での搬送状況等を監視すると共にそれぞれを手動操作することができ、しかもメンテナンスを容易に行なうことができる液晶表示体用基板の検査装置を提供する。【構成】 本液晶表示体用基板の検査装置10は、複数のLCD用基板Sが収納されたカセットC内のLCD用基板Sを1枚ずつロード、アンロードする搬送装置14を有するローダ部11と、このローダ部11からのLCD用基板Sの電気的検査を行なうプローバ部12とを備え、上記ローダ部11に主として上記搬送装置14による搬送状況を監視すると共に上記搬送装置を操作する第1制御手段29を設けると共に、上記プローバ部12に検査状況を監視すると共に上記プローバ部を操作する第2制御手段39を設けたことを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

複数の液晶表示体用基板が収納されたカセット内の液晶表示体用基板を1枚ずつロード、アンロードする搬送装置を有するローダ部と、このローダ部からの液晶表示体用基板の電気的検査を行なうプローバ部とを備えた検査装置において、上記ローダ部に主として上記搬送装置による搬送状況を監視すると共に上記搬送装置を操作する第1制御手段を設けると共に、上記プローバ部に検査状況を監視すると共に上記プローバ部を操作する第2制御手段を設けたことを特徴とする液晶表示体用基板の検査装置。

IPC (6件)：

G01R 31/00 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/66 ,  H01L 29/786

FI (6件)：

G01R 31/00 ,  G01R 31/26 J ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K ,  H01L 29/78 624