特許

J-GLOBAL ID：200903030333437351

ペリクル剥離装置

発明者： 早野 史倫
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-352367
公開番号（公開出願番号）：特開平6-175356
出願日： 1992年12月11日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：

【要約】【目的】 人間の手を介さずに自動的にペリクルフレームをレチクルから剥離できるペリクル用剥離装置を得る。【構成】 レチクルとペリクルフレームとの間の接着剤に、該接着剤の接着力を低減させ且つペリクル膜に対して安定な剥離液を供給する剥離液供給手段と、前記レチクルからペリクルフレームを引張り剥離する剥離手段とを備えたものであるため、レチクルを汚染したり、傷付けたりせずに、容易にレチクルからペリクルフレームを剥すことができる。

請求項（抜粋）：

レチクル又はマスクに、前記レチクルを覆うペリクル膜を保持したペリクルフレームが接着剤を介して固着されたものからペリクルフレームを剥離する装置であって、前記レチクルとペリクルフレームとの間の接着剤に、該接着剤の接着力を低減させ且つ前記ペリクル膜に対して安定な剥離液を供給する剥離液供給手段と、前記レチクルからペリクルフレームを引張り剥離する剥離手段とを備えたことを特徴とするペリクル剥離装置。