特許
J-GLOBAL ID：200903030334200894
探針-試料間距離制御機構およびその使用装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-290033
公開番号（公開出願番号）：特開平6-137810
出願日： 1992年10月28日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：
【要約】【目的】 走査型トンネル顕微鏡およびその応用装置である記録再生装置において、試料(記録媒体を含む)の導体、絶縁体であるを問わずに、試料表面と探針との間の厳密な距離制御を行なう。【構成】 探針-試料間に流れるトンネル電流に基づいてトンネル障壁値又はその距離微分値を検出する手段と、探針が試料表面に近づいたときのトンネル障壁値の急激な減少領域内の、任意の値又はトンネル障壁値の距離微分値の最大値を設定値として、上記検出されるトンネル障壁値又はその距離微分値を一定に保持するように探針-試料間の距離を負帰還制御する手段とを具有する探針-試料間距離制御機構。
請求項（抜粋）：
探針-試料間に流れるトンネル電流に基づいてトンネル障壁値を検出する手段と、探針が試料表面に近づいたときのトンネル障壁値の急激な減少領域の任意の値を設定値として上記検出されるトンネル障壁値を一定に保持するように、探針-試料間の距離を負帰還制御する手段とを具備する探針-試料間距離制御機構。
IPC (3件)：
G01B 7/34
, G05D 3/12
, H01J 37/28
