特許
J-GLOBAL ID：200903030335259531
単一駆動式二重平面ロボット
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-532248
公開番号（公開出願番号）：特表2002-503561
出願日： 1999年02月01日
公開日（公表日）： 2002年02月05日
要約：
【要約】本発明は、プロセスシステムを通じて対象物すなわち基板を搬送する為のロボットと、そのロボットを使用する方法を提供する。ロボットは、駆動部材に取り付けられた一対の可動アームを提供し、当該駆動部材は、当該アームを回転経路に移動させ、伸張、後退、回転の調整された運動を提供するように適合されている。上記アームの一端に回転自在に取り付けられた一対の上部ストラットは、回転自在に第1ブレードの遠地点に連結されて蛙足型装置を形成する。同様に、上記アームの一端に回転自在に取り付けられた一対の下部ストラットは、半径方向で第1ブレードに整列し、回転自在に第2ブレードの遠地点に連結されて蛙足型装置を形成する。アームに対する上部ストラットのピボット連結は、アームに対する下部ストラットのピボット連結からオフセットされており、当該ブレードの伸張及び後退中、第2ブレードに対し第1ブレードの半径方向における異なる速度を発生させる。ロボットは、処理チャンバ内へのロボットブレードの単一エントリを通じて、処理基板を除去したり、処理チャンバ内に未処理基板を挿入する等、基板の搬送を容易にする。
請求項（抜粋）：
対象物搬送装置において、 少なくとも第1駆動アーム及び第2駆動アームに結合された駆動装置と、 二つのストラット対であって、各ストラット対は、第1ストラットおよび第2ストラットを有し、各ストラット対の第1ストラットは旋回自在に第1駆動アームに取り付けられ、各ストラット対の第2ストラットは旋回自在に第2駆動アームに取り付けられ、各ストラット対は対象物支持体を搭載する、前記二つのストラット対と、を備える、対象物搬送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B25J 9/06 E
, H01L 21/68 A
5F031CA02
, 5F031FA01
, 5F031FA11
, 5F031FA12
, 5F031FA15
, 5F031GA03
, 5F031GA04
, 5F031GA43
, 5F031GA44
, 5F031GA47
, 5F031GA50
, 5F031MA04
, 5F031MA06
