プリエッチング剤

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-095401
公開番号（公開出願番号）：特開2000-282246
出願日： 1999年04月01日
公開日（公表日）： 2000年10月10日
要約：

【要約】【目的】高耐熱型層間絶縁膜の表面粗化を容易に行い、優れたピール強度を付与し、且つ、有機溶剤の使用に伴う引火点等の安全性に問題がない、プリエッチング剤の提供。【解決手段】疎水性のアルコール類、及び親水性の溶剤または界面活性剤を含有する水性プリエッチング剤。

請求項（抜粋）：

疎水性のアルコール類、及び親水性の溶剤または界面活性剤を含有する水性プリエッチング剤。

IPC (8件)：

C23C 18/22 , C09K 13/06 , C11D 1/22 , C11D 3/20 , C11D 3/43 , C11D 3/44 , H05K 3/18 , H05K 3/38

FI (8件)：

C23C 18/22 , C09K 13/06 , C11D 1/22 , C11D 3/20 , C11D 3/43 , C11D 3/44 , H05K 3/18 K , H05K 3/38 A

Fターム (22件)：

4H003BA12 , 4H003DA15 , 4H003EA21 , 4H003EB22 , 4H003ED02 , 4H003ED28 , 4H003ED29 , 4H003ED30 , 4H003ED31 , 4H003ED32 , 4H003FA01 , 4K022AA18 , 4K022AA42 , 4K022BA08 , 4K022CA02 , 4K022CA22 , 4K022CA23 , 4K022DA01 , 5E343CC24 , 5E343EE32 , 5E343EE37 , 5E343GG02

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