特許

J-GLOBAL ID：200903030338916550

基板検査装置

発明者： 伊藤 昭夫
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-236146
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082508
出願日： 1992年09月03日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、基板に形成される回路パターンの短絡、断線の検査を行う基板検査装置に関し、回路パターンの導通、絶縁の検査を容易かつ短時間で行うことを目的とする。【構成】 所定のパッドFに単一のコンタクトプローブ22により電圧を印加して測定対象パッドA,Bの電圧状態で液晶19により反射光の特質を変化させる。この反射光を検出器32により検出して制御部23により電圧値を算出して、同一又は異なるネットにおける回路パターンの導通、絶縁の判定を行う。

請求項（抜粋）：

所定数のパッド及び回路パターンからなるネットが所定数形成された検査対象の基板(16)と、該基板(16)の所定のパッドに電圧を印加する単一の電圧印加手段(22)と、該電圧が印加される該パッドに対して、測定対象となるパッドに光を照射する照射手段(28)と、該光が照射される測定対象のパッドの電圧に応じて反射光の特質を変化させる反射制御手段(19,51a)と、該反射光を検出する検出手段(32)と、該検出手段(32)の検出信号より、該測定対象のパッドにおける電圧値を算出して、前記ネット又はネット間の絶縁、導通を判定する制御手段(23)と、を含むことを特徴とする基板検査装置。