特許
J-GLOBAL ID：200903030343058898
画像入力装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-174039
公開番号（公開出願番号）：特開平5-244472
出願日： 1991年07月15日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：
【要約】【目的】 本発明は半導体装置等におけるボンディングワイヤ等の外観検査に用いられる画像入力装置に関し、高分解能な画像入力を高速に行い高精度なワイヤ等の形状を検査することを目的とする。【構成】 照射光6による検査対象物であるICチップ5からの反射光6aを対物レンズ3により平行光とし、ハーフミラー4a及び全反射ミラー4bにより光路を変更する。この平行光を結像レンズ8により光検出手段であるCCDラインセンサ9に結像させる。そして、対物レンズ3及びハーフミラー4aをX-Yステージ7により移動させ、全反射ミラー4b,結像レンズ8及びCCDラインセンサ9をXステージ10で移動させて撮像領域を分割して画像入力する。
請求項（抜粋）：
検査対象物(5)に光(6)を照射して画像を入力する画像入力装置において、前記照射された光(6)による前記検査対象物(5)からの反射光(6a)を平行光にして光路を変更させる光路変更手段(3,4,4a,4b)と、該光路変更手段(3,4,4a,4b)を該検査対象物(5)と水平面上で直交する二方向に移動させる第1の駆動手段(7)と、該光路変更手段(3,4,4a,4b)からの平行光を結像させる結像手段(8)と、該結像手段(8)で結像された該検査対象物(5)からの反射光(6a)を受光する光検出手段(9)と、該結像手段(8)及び該光検出手段(9)を、前記第1の駆動手段(7)で移動する一方向と同期させて移動させる第2の駆動手段(10)と、を有することを特徴とする画像入力装置。
IPC (2件)：
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