ラビング装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大岩増雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-171567
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014993
出願日： 1997年06月27日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：

【要約】【課題】ラビングロールと固定された回転軸と、軸受け部との間で生じる発塵を防止すると共に、ラビング材と被ラビング体である基板との接触状態を常に制御できるラビング装置を提供する。【解決手段】ラビング布5が巻き付けられたラビングロール4と固定された回転軸3に、磁性金属回転子6、浮上用コイル7および平板電磁石型のX軸方向位置決めコイル8により構成される磁気浮上方式の軸受け部、および高周波モータ13による回転機構を具備すると共に、回転軸3の位置を検出するセンサー9、10、11、およびラビングロール4と基板2との間隔14、およびラビング布5と基板2の接触距離15を測定する測定器16を備え、そこからの信号に基づき、回転軸3の位置を制御する。

請求項（抜粋）：

被ラビング体を保持する定盤と、ラビング材が巻き付けられたラビングロールと、上記ラビングロールと固定された回転軸と、上記回転軸を回転させる回転機構部と、上記回転軸を非接触で支持する磁気浮上軸受け部と、上記定盤および上記回転軸のいずれか一方を水平移動させる機構を備えたことを特徴とするラビング装置。

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