特許
J-GLOBAL ID:200903030354318727

誘電体共振器の共振周波数調整用レーザトリミング装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小鍜治 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-134491
公開番号(公開出願番号):特開平6-350314
出願日: 1993年06月04日
公開日(公表日): 1994年12月22日
要約:
【要約】【目的】 通信機器等に用いられる誘電体共振器の共振周波数の調整に関し、ピッチタイムが遅いという課題を解決し、高速かつ高精度な誘電体共振器の共振周波数調整用トリミング装置を提供することを目的とする。【構成】 誘電体共振器1を位置決めするターンテーブル2および3と、ターンテーブル2および3に誘電体共振器1を供給取り出しする供給取り出し手段と、レーザ光4を集光し走査を可能とする光学系を有するレーザ発振器と、誘電体共振器1の共振周波数を測定するアンテナ測定端子7〜10と、それにより測定した周波数から誘電体共振器1の表面電極をトリミングする面積を決定する演算処理部とから構成し、初期共振周波数からトリミングすべき面積を予測するアルゴリズムを用いてレーザトリミングを実行することにより、高速かつ高精度な効率の良いトリミングを実行できる。
請求項(抜粋):
誘電体共振器を供給する供給部と、供給された誘電体共振器を保持して間欠回転するテーブル部と、テーブル部に保持された誘電体共振器の共振周波数を測定する測定部と、あらかじめ記憶されたトリミング面積と共振周波数変化量の関係から誘電体共振器のトリミング面積を予測するアルゴリズムに基づいて上記測定部で測定した誘電体共振器のトリミング量を決定する演算部と、演算部の結果に基づいて誘電体共振器の表面電極をコーナー端部から必要面積となる位置まで走査しトリミングを行う光学系を備えたレーザ発振器と、これらを制御する制御部からなる誘電体共振器の共振周波数調整用レーザトリミング装置。
IPC (2件):
H01P 7/04 ,  H01P 11/00
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平3-214904
  • 特開昭58-194406

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