特許

J-GLOBAL ID：200903030357160008

感光性組成物並びにパターン形成方法

発明者： 高野 和浩 ,  宇都宮 伸
出願人/特許権者： 東洋合成工業株式会社
代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-146684
公開番号（公開出願番号）：特開2001-330952
出願日： 2000年05月18日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】 感光性樹脂、重合性不飽和化合物および光重合開始剤それぞれの相溶性が良く、溶液は均質系であり、保存安定性に優れ、水現像が可能であり、強固で基材への接着性が良好な光硬化物が得られる感光性組成物ならびにパターン形成方法を提供する。【解決の手段】 下記一般式(1)〜(4)で表される構成単位を有するポリ酢酸ビニル鹸化物誘導体と、エチレン性不飽和基を少なくとも1個有する重合性不飽和化合物と、光重合開始剤と、下記一般式(5)〜(7)で表される群から選択される少なくとも一種の有機溶媒とを構成成分として含有する。【化1】【化2】

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)〜(4)で表される構成単位を有するポリ酢酸ビニル鹸化物誘導体と、エチレン性不飽和基を少なくとも1個有する重合性不飽和化合物と、光重合開始剤と、下記一般式(5)、(6)および(7)で表される群から選択される少なくとも一種の有機溶媒とを構成成分として含有することを特徴とする感光性組成物。【化1】【化2】(式中のk、l、m、nは任意の自然数を示すが、lは0でも良い。但し、(k+l+m/2+n/2)=200〜4500とする。R1は水素原子またはメチル基を表し、R2は下記一般式(8)、(9)、(10)および(11)で表される群から選択される少なくとも一種を示し、R3およびR9はそれぞれ互いに独立の水素原子、アルキル基またはアルコキシ基を表し、R4は水素原子、C1〜C9の鎖状炭化水素基、アリール基、アラルキル基または複素環基を表し、pは1〜6の範囲の整数、qは0または1を表す。R5およびR6はそれぞれ互いに独立の水素原子、メチル基、エチル基またはアセチル基を表し、R7およびR8はそれぞれ互いに独立の水素原子、メチル基またはエチル基を表し、sは1〜4、tおよびuは1〜2の範囲の整数を表す。R10は水素原子、アルキル基またはアラルキル基からなる群から選ばれた一員およびそれらの混合物を表し、前記アルキル基またはアラルキル基は、それぞれヒドロキシル基、カルバモイル基、エーテル結合、エステル結合および不飽和結合からなる群から選ばれる少なくとも一員を含むものおよび含まないものから選ばれる。R11はアルキレン基を表し、X-は酸の共塩基性イオンを表し、Y-はSO3-またはCO2-を表す。)【化3】

IPC (5件)：

G03F 7/032 ,  C08F 2/44 ,  C08F291/06 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027

FI (5件)：

G03F 7/032 ,  C08F 2/44 C ,  C08F291/06 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027

Fターム (27件)：

2H025AA04 ,  2H025AA18 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC34 ,  2H025BC43 ,  2H025CA00 ,  2H025CB07 ,  2H025CC03 ,  2H025FA17 ,  4J011PA68 ,  4J026AA38 ,  4J026BA05 ,  4J026BA10 ,  4J026BA27 ,  4J026BA28 ,  4J026BA30 ,  4J026BA31 ,  4J026BA32 ,  4J026DB02 ,  4J026DB06 ,  4J026DB09 ,  4J026DB11 ,  4J026FA05 ,  4J026GA01 ,  4J026GA06