ガス検知器およびガス吸着膜の感度検査方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-250657
公開番号（公開出願番号）：特開平7-103873
出願日： 1993年10月06日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：

【要約】【目的】ガス濃度が変化しても高感度にガスを検知し、また、吸着膜の感度検査を容易にする。【構成】発振回路7,8,9によって吸着速度の異なるガス吸着膜2,4をもつ水晶発振子3,5と吸着膜をもたない水晶発振子6を発振させ、吸着膜2,4へのガス吸着による発振周波数の変化から、マルチプレクサ10、乗算&サンプリング回路11、カウンタ12を介してコンピュータ13は水晶発振子3,5の応答の時定数を抽出して、検知対象ガスの検知と同ガスの種類の判別を行い、表示装置14に表示する。また、コンピュータ13は水晶発振子3,5の外乱による応答の分散からガス吸着膜2,4の感度低下を検出して表示装置14にセンサ感度低下の警告表示を表示する。

請求項（抜粋）：

表面にガス吸着膜を設けた水晶発振子を用い、検知対象ガスの前記ガス吸着膜への吸着による前記水晶発振子の共振周波数の変化を求めることにより、前記対象ガスを検知し、および前記対象ガスの種類を判別するガス検知器において、吸着速度の異なるガス吸着膜を設けた2つの水晶発振子を有し、前記2つの水晶発振子の応答から時定数を抽出することによって検知対象ガスを検知し、および前記対象ガスの種類を判別することを特徴とするガス検知器。

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