特許
J-GLOBAL ID:200903030359897571

塗布液の塗布装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 江原 省吾 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-228500
公開番号(公開出願番号):特開平11-057536
出願日: 1997年08月25日
公開日(公表日): 1999年03月02日
要約:
【要約】【課題】比較的に簡単な構成によりプレッシャマ-ク,オ-バ-フロ-,泡ムラなどの塗布不良の発生を効果的に低減できる塗布液の塗布装置を提供すること。【解決手段】本体部の下部に、筒状の弁4Aとこの弁の下端開口部を開閉する弁座5Aとを有するノズル部3Aを配置すると共に、本体部の上部に、弁座の弁に対する開閉動作を付与する開閉手段を配置してなり、前記ノズル部を、弁の下端面に内側に向けて傾斜するテ-パ部4Aaを形成すると共に、この弁のテ-パ部に弁座を小さな接触面積で密接するように構成し、かつ弁座の外径d0 ,弁の外径d1 をガラスバルブの内径Dに対して d0 ≦d1 ,0.45D≦d1 ≦0.70D の関係を満足するように設定した。
請求項(抜粋):
本体部の下部に、筒状の弁とこの弁の下端開口部を開閉する弁座とを有するノズル部を配置すると共に、本体部の上部に、弁座の弁に対する開閉動作を付与する開閉手段を配置した塗布液の塗布装置において、前記ノズル部は、下端面に内側に向けて傾斜するテ-パ部を形成した弁と、この弁のテ-パ部に小さな接触面積で密接する弁座とから構成したことを特徴とする塗布液の塗布装置。
IPC (2件):
B05B 1/32 ,  H01J 9/22
FI (2件):
B05B 1/32 ,  H01J 9/22 F

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