欠陥検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-239404
公開番号（公開出願番号）：特開平9-089790
出願日： 1995年09月19日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】【課題】位相シフターの欠陥と光透過性の異物を検出できる欠陥検査装置を得ることを目的とする。【解決手段】透過型と反射型の2つの微分干渉顕微鏡系を設ける。透過型の微分干渉顕微鏡の検光子を例えば偏光ビームスプリッタとして、ビームスプリッタの透過光と反射光を検出し、検出信号を得る。2つの検出信号の相対強度を調整し、それらの差動出力を得る。反射型も同様にして差動出力を得る。そして2つの信号の相対強度を調整する。調整後の2つの信号の差に基づいて欠陥を検出する。特にレベンソンタイプ等の位相シフトレチクルの欠陥( 位相シフターの欠陥やレチクルに付着した異物) を検出可能な装置を得ることができる。

請求項（抜粋）：

遮光部と光透過部と位相シフター部とを有するレチクルの欠陥を検査する欠陥検査装置であって、第一の光線を射出するレーザー光源と、前記レチクルから反射方向に発生する光線を集光し得る光軸に沿って配置された第一対物レンズと、前記レチクルから透過方向に発生する光線を集光し得る光軸に沿って配置された第二対物レンズと、前記第一の光線を、前記光軸に沿って配置された前記第一対物レンズに向けて反射させるハーフミラーと、前記ハーフミラーで反射された第一の光線を、第一の偏光状態と第二の偏光状態の2つの直線偏光であって互いに異なる方向に進行する光線に分離する光線分離手段を有し、前記対物レンズは前記2つの直線偏光の光線を集光し、レチクル内の第一の領域内で2つのビームスポットを形成し、前記第一の偏光状態と第二の偏光状態の2つの直線偏光であって互いに異なる方向に進行する光線の一部は、前記対物レンズを通過し、前記レチクルに衝突し、反射され、再び該第一対物レンズに入射し、前記光線分離手段に再び入射し、第三の偏光状態の第二の光線になって該光線分離手段を射出し、前記ハーフミラーを透過し、前記第一の偏光状態と第二の偏光状態の2つの直線偏光であって互いに異なる方向に進行する光線の一部は前記レチクルを透過し、第二対物レンズに入射し、光線合成手段に入射し、第四の偏光状態の第三の光線になって該光線合成手段を射出し、さらに前記第一の光線の第一の偏光状態と第二の偏光状態の二つの直線偏光の光線の相対的な位相差量である第一の位相差を調整する第一の位相差調整手段と、前記第二の光線を、第五の偏光状態と第六の偏光状態の2つの直線偏光の光線に分離する、第一の偏光分離手段と、前記第三の光線を、第七の偏光状態と第八の偏光状態の2つの直線偏光の光線に分離する、第二の偏光分離手段と、前記レチクル内の第一の領域内で前記2つのビームスポットを2次元走査する走査手段と、前記第五の偏光状態の光線を光電変換し、第一信号を出力する第一の光電変換素子と、前記第六の偏光状態の光線を光電変換し、第二信号を出力する第二の光電変換素子と、前記第七の偏光状態の光線を光電変換し、第三信号を出力する第三の光電変換素子と、前記第八の偏光状態の光線を光電変換し、第四信号を出力する第四の光電変換素子と、前記第一信号と第二信号の強度比を調整し、第五信号、第六信号として出力する第一の信号強度比調整手段と、前記第三信号と第四信号の強度比を調整し、第七信号、第八信号として出力する第一の信号強度比調整手段と、前記第五信号と、前記第六信号の信号強度の差である第一の差信号を生成する、第一の差信号生成手段と、前記第七信号と、前記第八信号の信号強度の差である第二の差信号を生成する、第二の差信号生成手段と、前記第一の差信号と第二の差信号の信号強度比を調整し第三の差信号と第四の差信号として出力する、第三の信号強度比調整手段と、前記第三の差信号と第四の差信号の差である誤差信号を算出する、誤差信号算出手段と、前記誤差信号を2値化し2値化信号を出力する2値化手段を有し、前記誤差信号の2値化信号に基づいて欠陥ありと判定する判定手段とを有し、前記位相差調整手段は、前記遮光部と前記位相シフター部の段差、及び前記遮光部と前記光透過部の段差において生じる前記第一の差信号の出力と前記第二の差信号の出力とがほぼ一定となるように、前記第一の位相差を調整することを特徴とする欠陥検査装置。

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