特許

J-GLOBAL ID：200903030362328286

セラミックヒータ

発明者： 平松 靖二
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (2件)： 安富 康男 ,  東 毅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-136183
公開番号（公開出願番号）：特開2004-303736
出願日： 2004年04月30日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：

【課題】 抵抗発熱体の短絡を防止することができ、セラミックヒータとして良好に機能するセラミックヒータを提供すること。【解決手段】 セラミック基板の表面の少なくとも一部に、前記セラミック基板よりも高い体積抵抗率を有する絶縁層が形成され、前記絶縁層上に抵抗発熱体が形成されてなることを特徴とするセラミックヒータ。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

セラミック基板の表面の少なくとも一部に、前記セラミック基板よりも高い体積抵抗率を有する絶縁層が形成され、前記絶縁層上に抵抗発熱体が形成されてなることを特徴とするセラミックヒータ。

IPC (6件)：

H05B3/20 ,  H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  H01L21/68 ,  H05B3/10 ,  H05B3/74

FI (6件)：

H05B3/20 328 ,  H01L21/02 Z ,  H01L21/68 N ,  H05B3/10 C ,  H05B3/74 ,  H01L21/30 567

Fターム (55件)：

3K034AA02 ,  3K034AA03 ,  3K034AA04 ,  3K034AA05 ,  3K034AA15 ,  3K034AA16 ,  3K034AA19 ,  3K034AA21 ,  3K034AA34 ,  3K034AA35 ,  3K034AA37 ,  3K034BA02 ,  3K034BA13 ,  3K034BB06 ,  3K034BB14 ,  3K034BC04 ,  3K034BC12 ,  3K034BC17 ,  3K034CA02 ,  3K034CA26 ,  3K034DA04 ,  3K034FA14 ,  3K034HA04 ,  3K034JA10 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QB02 ,  3K092QB08 ,  3K092QB26 ,  3K092QB44 ,  3K092QB61 ,  3K092QC52 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092RF17 ,  3K092RF22 ,  3K092RF27 ,  3K092SS12 ,  3K092UA05 ,  3K092UB02 ,  3K092VV06 ,  3K092VV22 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA06 ,  5F031HA37 ,  5F031MA27 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA30 ,  5F031PA08 ,  5F031PA11 ,  5F046KA04 ,  5F046KA10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ヒーターおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-210014   出願人：イビデン株式会社