特許

J-GLOBAL ID：200903030374615450

マイクロマシンとその製造方法

発明者： 岡田 博之
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-135507
公開番号（公開出願番号）：特開平6-350105
出願日： 1993年06月07日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：

【要約】【目的】マイクロマシンの一例であるセンサにおいて、製造工程中に可動部11と固定部12と連結する部分を破損すること無く高い歩留りが得られるとともに複数のセンサの支持部13の切断処理が同時に行ない生産性の向上を図る。【構成】可動部11の片持ち連結部を補強する電気抵抗の高い導電性の支持部13を予じめ設け、可動部11および固定部12を形成し、パッケージに組込み後、配線14に電流を流し支持部13を加熱溶断して可動部11を固定部12から分離している。また、この補強部材の切断作業は多数のセンサに対して同時に行なっている。

請求項（抜粋）：

固定部材と、この固定部材と連結部材を介して支えられる可動部材と、前記連結部材とは別に前記固定部材より派生し前記可動部材を支える支持部材とを有し、前記固定部材および前記可動部材をパッケージに組込み後に前記支持部材を切断してなるマイクロマシンにおいて、前記支持部材が導電部材であって、電流を流しその抵抗加熱で該支持部材を溶断することを特徴とするマイクロマシン。

IPC (2件)：

H01L 29/84 ,  G01L 9/04

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-033973
  
• 特開平1-100432
  
• 特開昭62-190748