特許

J-GLOBAL ID：200903030380993335

セラミックヒーター

発明者： 鈴木 泰彦
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社
代理人 (1件)： 藤木 三幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-094219
公開番号（公開出願番号）：特開平8-273813
出願日： 1995年03月29日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 レニウム-タングステン合金のヒートパターンを内蔵するセラミックヒーターを安定した使用及び耐久性を向上できる。【構成】 窒化アルミニウムのセラミックシート10に対してレニウム-タングステン合金粉末のヒートパターン3′を印刷し、このヒートパターン3′を印刷したセラミックシート10に対して同材料のセラミックシート11を積層し、この積層されたセラミックシート10,11を上下方向から窒化珪素のセラミックシート12,13により挟持すると共にプレス成形、焼成してセラミックヒーター1とした。また、ヒートパターンの発熱体3aに対して温度抵抗係数の大きい物質を直列に接続することで自己制御機能を有するものとし、ヒートパターンの断線を防止して耐久性を向上できる。

請求項（抜粋）：

レニウム-タングステン合金粉末を印刷用インキと混合することにより調製される印刷用ペーストをもって、窒化アルミニウムを主成分とするセラミックシート上に、電極取出部と一体に発熱体となる任意形状及び厚さを有するヒートパターンを印刷すると共に、このヒートパターンを印刷した窒化アルミニウムのセラミックシートに対して該ヒートパターンを覆うように同形状の窒化アルミニウムを主成分とするセラミックシートを一体に積層し、更に、この積層された窒化アルミニウムを主成分とするセラミックシートを上下方向から窒化珪素を主成分とするセラミックシートによって挟持した後、プレス成形し、焼成してなるセラミックヒーター。

IPC (5件)：

H05B 3/20 393 ,  F23Q 7/00 ,  F23Q 7/00 605 ,  F23Q 7/22 620 ,  H05B 3/14

FI (5件)：

H05B 3/20 393 ,  F23Q 7/00 X ,  F23Q 7/00 605 M ,  F23Q 7/22 620 D ,  H05B 3/14 A