特許

J-GLOBAL ID：200903030389651658

流量センサー

発明者： 山岸 喜代志 ,  井上 眞一 ,  小池 淳
出願人/特許権者： 三井金属鉱業株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-281626
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118565
出願日： 1997年10月15日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】 比較的高い粘度の粘性流体であっても、更には比較的少ない流量であっても、或は幅広い環境温度条件下において、配管内を流れる該流体の流量を正確に測定できる流量センサーを提供する。【解決手段】 基板の第1面上にて薄膜発熱体と薄膜感温体とを絶縁層を介して積層した流量検知部12からの熱が被検知流体に伝達され吸熱されるように被検知流体管路4が形成されている。流量検知部12において薄膜発熱体の発熱に基づき被検知流体による吸熱の影響を受けた感温が薄膜感温体で実行され、その結果に基づき管路4内の被検知流体の流量を検知する。流量検知部12の基板の第2面には管路4内へと延びているフィンプレート14が接合材16により接合されており、フィンプレート14は管路4の円形断面の中央部を通って延びている。フィンプレート14の管路8の方向の寸法は厚さ寸法L2 より大きい。

請求項（抜粋）：

発熱機能と感温機能とを有する流量検知部と、該流量検知部からの熱が被検知流体に伝達され吸熱されるように形成された該被検知流体のための管路とを備えており、前記流量検知部において発熱に基づき前記被検知流体による吸熱の影響を受けた感温が実行され、該感温の結果に基づき前記管路内の被検知流体の流量を検知する流量センサーであって、前記流量検知部には前記管路内へと延びている熱伝達用部材が付設されており、該熱伝達用部材は前記管路の断面の少なくとも中央部の近傍に至るように延びていることを特徴とする流量センサー。