特許

J-GLOBAL ID：200903030392109368

汚染物または汚染ガスを検出する方法

発明者： 松成 秀一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-351602
公開番号（公開出願番号）：特開2001-165769
出願日： 1999年12月10日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】 従来の極微量汚染物または極微量汚染ガスの検出方法にあった、サンプル基板の取り扱いの困難性、サンプル基板の破壊、測定時間の長さ、低感度、揮発性の汚染物質検出の困難性、及びサンプル基板形状の制限の問題を解決すること。【解決手段】サンプル基板上への極微量汚染物の付着による微小なアドミッタンス変化が分光特性変化として高感度に検出できるようにサンプル基板上に適当な光学薄膜を設け、汚染物または汚染ガスを分光特性の変化として検出した。

請求項（抜粋）：

光学素子の分光特性を経時的に測定し、前記分光特性の変化により前記基板表面上に生ずる汚染物を検出する方法。

IPC (6件)：

G01J 1/50 ,  G01M 11/00 ,  G01N 1/22 ,  G01N 21/27 ,  G01N 21/33 ,  G01N 21/41

FI (7件)：

G01J 1/50 ,  G01M 11/00 L ,  G01M 11/00 M ,  G01N 1/22 L ,  G01N 21/27 Z ,  G01N 21/33 ,  G01N 21/41 Z

Fターム (16件)：

2G059AA05 ,  2G059BB16 ,  2G059CC20 ,  2G059DD12 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059FF08 ,  2G059GG00 ,  2G059HH03 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ13 ,  2G059KK01 ,  2G086FF06 ,  2G086GG01