特許
J-GLOBAL ID：200903030400602893
プローバー装置と金属バンプの検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-049745
公開番号（公開出願番号）：特開平6-268034
出願日： 1993年03月11日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【目的】 多数の金属突起を有する電子部品のプローバー装置と電子部品に形成した金属バンプの検査方法に関し、同時に複数の電子部品を対象としたときの均一当接と、不良バンプの検出を目的とする。【構成】 本発明装置は、X-Y方向調整用ステージ18より側方に突出するホルダー21にZ方向のガイドを設け、そのガイドに案内されてステージ8が上下動し、ステージ8はその上方に配設したヘッド27に依り降下動する。バンプ4を端子に当接させる圧力はばね29の押圧力とばね13の反撥力の差により、その過負荷は、ばね13の反撥力がばね29の押圧力より大きくなったときヘッド27が上昇することで避ける。本発明による金属バンプの検査方法は、ダミーバンプ,ダミーバンプの間を適当に接続する導体パターンを利用し、特別に背高のバンプ4の有無または、圧力センサを使用しバンプ4の背高が所定のばらつき内にあるかを、電気的導通によって検査する。
請求項（抜粋）：
電極端子(5) を形成した基板(1) を該電極端子が上向きとなるように搭載するテーブル(7) と、該電極端子に当接させる金属突起(4,4′) を設けた電子部品(2) をその金属突起が下向きとなるように固着する第1のステージ(8) と、該第1のステージを水平面内で回動させる回動調整機構と、該第1のステージを水平面内で直交するX-Y方向に移動させる2軸調整機構と、該電子部品を該基板に向けて押圧させる加圧機構とを具え、該回動調整機構には、該第1のステージを回動可能に支持する第1のホルダー(9) と、該第1のホルダーに対し該第1のステージを回動させる第1の操作手段(10)とを具え、該2軸調整機構には、水平面内でX-Y方向に移動可能な第2のステージ(18)と、該第2のステージをX-Y方向に移動させる第2の操作手段(19,20) と、該第2のステージより側方に突出する第2のホルダー(21)とを具え、該加圧機構には、加圧力発生器(15)と、該加圧力発生器の操作によって降下動する第3のステージ(26)と、該第3のステージに収容し圧縮力調整ねじ(28)によって上下方向の圧縮量が調整される第1の圧縮ばね(29)と、該第3のステージに収容し該第1の圧縮ばねによって下向きに付勢された加圧ヘッド(27)と、該第1の圧縮ばねより適当に弱い第2の圧縮ばね(13)によって上向きに付勢され該加圧ヘッドの下面が当接するフランジ金具(12)と、該フランジ金具と該第1のホルダーとを連結し該第2のホルダーに設けたガイドによって上下動可能な軸(11)とを具え、該フランジ金具の中心と該加圧ヘッドの中心と該第1の圧縮ばねの付勢中心と該第2の圧縮ばねの付勢中心とが、該第1のステージの中心を通る垂直線にほぼ一致するように構成し、該第3のステージの降下動によって該第1のステージが降下するように構成されてなることを特徴とするプローバー装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G02F 1/1345
, H01L 21/321
