特許
J-GLOBAL ID:200903030402462886

外観検査方法及びその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小川 信一 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-033379
公開番号(公開出願番号):特開平6-250137
出願日: 1993年02月23日
公開日(公表日): 1994年09月09日
要約:
【要約】【目 的】 検査光線を、拡散板を経て被検査物に照射してその外観を検査するに際し、被検査物の外観品質を確認しやすく信頼性の高い検査を行うことができるようにする。【構 成】 投光装置4から拡散板2を経て被検査物の液晶表示パネル1に、可視光線領域内の緑色領域であって半値幅が50nm以下の狭帯領域の検査光線3を照射し、『表示むら』や『すじ』等の欠陥を検査 (外観検査) する。
請求項(抜粋):
可視光線領域内の緑色領域であって半値幅が50nm以下の狭帯領域の検査光線を、拡散板を経て被検査物に照射してその外観を検査することを特徴とする外観検査方法。
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開平4-037711
  • 特開平2-125311
  • 特開平1-313743

前のページに戻る