特許

J-GLOBAL ID：200903030403026192

板状体の吸着装置及びその制御方法

発明者： 谷古宇 猛
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 大塚 康徳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-266968
公開番号（公開出願番号）：特開2000-100913
出願日： 1998年09月21日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】加熱を伴なう場合でも板状体を確実に吸着することができる板状体の吸着装置を提供する。【解決手段】板状体273を吸着させるための複数の吸着孔B1〜B16が形成された吸着板26と、複数の吸着孔から外気を吸引させるために複数の吸着孔に接続された負圧源と、吸着孔と負圧源との接続を開閉する負圧開閉装置Sol1〜Sol16と、吸着孔の負圧を検出する負圧検出装置BS1〜BS16と、負圧検出装置により検出された負圧の値が所定値よりも小さい場合に、少なくともその所定値よりも小さい負圧を示す吸着孔の前記負圧源との接続を閉じるように、負圧開閉装置を制御する制御装置150とを具備する。

請求項（抜粋）：

板状体を吸着させるための複数の吸着孔が形成された吸着板と、前記複数の吸着孔から外気を吸引させるために該複数の吸着孔に接続された負圧発生手段と、前記吸着孔と前記負圧発生手段との接続を開閉する負圧開閉手段と、前記吸着孔の負圧を検出する負圧検出手段と、該負圧検出手段により検出された負圧の値が所定値よりも小さい場合に、少なくとも該所定値よりも小さい負圧を示す吸着孔の前記負圧発生手段との接続を閉じるように、前記負圧開閉手段を制御する制御手段とを具備することを特徴とする板状体の吸着装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/06 ,  B65G 49/06 ,  H01J 9/26

FI (5件)：

H01L 21/68 P ,  B25J 15/06 E ,  B25J 15/06 B ,  B65G 49/06 A ,  H01J 9/26 A

Fターム (17件)：

3F061AA01 ,  3F061CA01 ,  3F061CB05 ,  3F061CC11 ,  3F061CC13 ,  3F061DB04 ,  3F061DB06 ,  3F061DD02 ,  5C012AA05 ,  5C012BC05 ,  5F031CA05 ,  5F031HA13 ,  5F031JA38 ,  5F031KA05 ,  5F031KA15 ,  5F031MA30 ,  5F031PA11