固体撮像素子の製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-183874
公開番号（公開出願番号）：特開2004-031532
出願日： 2002年06月25日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：

【課題】0.2μm以下のレンズ間ギャップを備えた、感度低下のない、またマイクロレンズ間の非開口部からの反射光を抑制し、ノイズを低減させた固体撮像素子の製造方法を提供すること。【解決手段】反射光を抑制する低屈折率樹脂29を形成する際に、マイクロレンズ28の高さが0.8μm以下で、マイクロレンズ間のギャップが0.2μm以下であるマイクロレンズ上に、固形分比5%以下の低屈折率樹脂塗布液を多めに液盛りして、スピンコートにて低屈折率樹脂を形成すること。低屈折率樹脂がフッ素系アクリル樹脂であること。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

少なくとも光電変換素子、カラーフィルタ、アンダーコート層、マイクロレンズ、低屈折率樹脂を備えた固体撮像素子の製造方法において、該低屈折率樹脂を形成する際に、マイクロレンズの高さが0.8μm以下で、マイクロレンズ間のギャップが0.2μm以下であるマイクロレンズ上に、スピンコートにて固形分比5%以下の低屈折率樹脂塗布液を多めに液盛りして低屈折率樹脂を形成することを特徴とする固体撮像素子の製造方法。

IPC (3件)：

H01L27/14 , G02B3/00 , H04N5/335

FI (3件)：

H01L27/14 D , G02B3/00 A , H04N5/335 U

Fターム (13件)：

4M118BA09 , 4M118CA02 , 4M118CA32 , 4M118EA20 , 4M118FA06 , 4M118GB03 , 4M118GC07 , 4M118GC08 , 4M118GD03 , 4M118GD07 , 5C024CY47 , 5C024EX43 , 5C024EX52

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