特許

J-GLOBAL ID：200903030408787582

シンクロトロン放射光の集光方法

発明者： 岡村 茂
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-186718
公開番号（公開出願番号）：特開平6-068999
出願日： 1991年07月26日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：

【要約】【目的】 反射鏡の反射面にシンクロトロン放射光を照射し、この反射鏡により反射されたシンクロトロン放射光を被照射物に照射するシンクロトロン放射光の集光方法に関し、特にシンクロトロン放射光を鉛直方向に振っても、一定の強度のシンクロトロン放射光を被照射物の全域に照射することを可能にするシンクロトロン放射光の集光・走査法の提供を目的とする。【構成】 反射鏡12の滑らかな凹状をした反射面12a に電子蓄積リング10から放射されたシンクロトロン放射光11を照射し、この反射鏡により反射されたシンクロトロン放射光を被照射物20に照射するシンクロトロン放射光の集光方法において、シンクロトロン放射光が反射鏡の反射面に入射する視斜角θの増加に応じ、シンクロトロン放射光の光軸に沿って反射鏡を電子蓄積リングに接近し、視斜角θの減少に応じ、シンクロトロン放射光の光軸に沿って反射鏡を電子蓄積リングから離隔するようにシンクロトロン放射光の集光方法を構成する。

請求項（抜粋）：

反射鏡(12)の滑らかな凹状をした反射面(12a) に電子蓄積リング(10)から放射されたシンクロトロン放射光(11)を照射し、この反射鏡(12)により反射されたシンクロトロン放射光(11)を被照射物(20)に照射するシンクロトロン放射光の集光方法において、シンクロトロン放射光(11)が反射鏡(12)の反射面(12a) に入射する視斜角 (θ) の増加に応じ、シンクロトロン放射光(11)の光軸(11a) に沿って反射鏡(12)を電子蓄積リング(10)に接近し、前記視斜角 (θ) の減少に応じ、シンクロトロン放射光(11)の光軸(11a) に沿って反射鏡(12)を電子蓄積リング(10)から離隔することを特徴とするシンクロトロン放射光の集光方法。