特許
J-GLOBAL ID：200903030415277646
真空装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-279374
公開番号（公開出願番号）：特開平5-321835
出願日： 1992年09月24日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：
【要約】【目的】 真空部内を真空にするドライポンプの排ガスを排ガス処理装置により排ガス処理して排気する真空装置において、ドライポンプの背圧異常を迅速に発見すると共に、生成物の配管への付着を防止し、生成物を一箇所に集中させて除去を容易にする。【構成】 ドライポンプ3と排ガス処理装置4(、4a)との間における圧力を検出する圧力検出器6を設ける。また、排気経路2に加熱手段10を設けたり、生成物推積室12を設けたりする。【効果】 圧力検出器6の検出値が異常に高い(大気圧ないしはそれに近い)値になると異常と検知して警報を発するようにできる。そして、配管2が加熱されるので排ガスが結晶化せず、生成物推積室12にのみ有効に生成物が推積する。
請求項（抜粋）：
真空部内を真空にするドライポンプの排ガスを排ガス処理装置により排ガス処理して排気する真空装置において、排気経路の上記ドライポンプと排ガス処理装置との間における圧力を検出する圧力検出器を設けたことを特徴とする真空装置
IPC (2件)：
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