特許
J-GLOBAL ID：200903030431179280
プローブホルダー及びそのホルダーを用いた 走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-302300
公開番号（公開出願番号）：特開平8-160056
出願日： 1994年12月06日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：
【要約】【目的】 本発明はかかる事情に鑑みて成されたもので、カンチレバーの破損や汚染を防止するマイクロカンチレバーホルダーおよび走査型プローブ顕微鏡を得ることを目的とする。【構成】 本発明では、光が通過する開口部とカンチレバーを保持するためのカンチレバー取り付け部とを設けたホルダー基台部材と、開口部とホルダー基台部材に取り付けられたカンチレバーとを覆う遮蔽部材とを有し、遮蔽部材は、試料表面測定時には、測定できる状態まで移動若しくは取り外し可能であることとした。
請求項（抜粋）：
光が通過する開口部とカンチレバーを保持するカンチレバー取り付け部とを設けたホルダー基台部材と、前記開口部と前記ホルダー基台部材に取り付けられたカンチレバーとを覆う遮蔽部材とを有し、前記遮蔽部材は、試料表面測定時に、測定できる状態まで移動若しくは取り外し可能であることを特徴とするプローブホルダー。
IPC (2件)：
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